6月22日下午，华海清科股份有限公司董事长路新春莅临创新中心考察访问，创新中心总经理彭芳瑜、智能所周林博士出席接待。彭芳瑜引导客人先后参观了企业展厅、中试车间等研发场所，介绍了创新中心在能力平台建设、产学研协同创新、关键技术攻关、科技成果转化等方面的详细进展，双方就深化合作展开沟通洽谈。

    据悉，华海清科于2013年成立,是天津市政府与清华大学践行京津冀一体化国家战略,为推动我国化学机械抛光(CMP)技术和设备产业化成立的高科技企业。该公司作为拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，致力于为相关领域的企业提供先进的CMP、高端研磨等设备及工艺的集成解决方案。